非接觸式晶圓傳送伯努利卡盤(pán)BC系列的特點(diǎn)
非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤(pán) BC 系列的工作原理
當(dāng)晶圓放置在導(dǎo)向環(huán)的四個(gè)白色銷(xiāo)釘內(nèi)并按下啟動(dòng)按鈕時(shí)，晶圓會(huì)浮起并接近中心。之后用黑色方銷(xiāo)固定，可以無(wú)接觸運(yùn)輸。
非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤(pán) BC 系列產(chǎn)品概述
◆請(qǐng)從20度、45度、90度中選擇主機(jī)。通過(guò)更換導(dǎo)向環(huán)可以處理各種晶圓。導(dǎo)環(huán)更換也很容易。
為了保證真空鑷子能夠長(zhǎng)期安心使用，我們進(jìn)行了長(zhǎng)期閥門(mén)耐久測(cè)試，每天重復(fù)開(kāi)關(guān)按鈕8小時(shí)。 在0.3Mpa氣壓下進(jìn)行。
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